Разрабатываем и поставляем оборудование под конкретные требования заказчика, осуществляем техподдержку и сервисное обслуживание. Для нас нет ограничений, если это требуется заказчику.

В основе работы установки используются два метода устранения дефектов покрытия шаблонов в зависимости от их типа: непрозрачные дефекты устраняются путем испарения покрытия шаблона сфокусированным излучением фемтосекундного лазера, работающего в импульсно периодическом режиме; ремонт прозрачных дефектов выполняется путем лазерно-химического осаждения металлоорганического соединения. Выход в зону дефекта осуществляется автоматически по информации, получаемой от установок контроля топологии шаблонов.

Основные особенности:

• ремонт прозрачных дефектов;
• ремонт непрозрачных дефектов;
• телевизионная система наблюдения за процессами ориентации, совмещения и наведения;
• автоматическая загрузка (выгрузка) шаблона.