- Министерство образования
- Белорусский государственный университет
- Модульный комплекс управления расходом газов (МКУРГ)
Модульный комплекс управления расходом газов (МКУРГ)
МКУРГ значительно дешевле зарубежных аналогов, за счет чего имеются хорошие перспективы уменьшить стоимость установок реактивного магнетронного осаждения для осаждения покрытий с уникальными свойствами.
Параметры опытного образца близки к максимально достижимым характеристикам аналогичных современных зарубежных систем.
